Физические методы получения покрытий в вакууме. Процесс конденсации с ионной бомбардировкой. Получение субмикрокристаллических плёночных систем на основе соединений титана с азотом, исследование атомно-кристаллической структуры и микротвердости плёнок.
При низкой оригинальности работы "Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
Он показывает, что основными параметрами ионно-плазменной обработки, существенно влияющими на структуру и свойства покрытий системы титан-азот являются: давление реакционного газа (азота), ток дуги, потенциал смещения, температура подложки, время обработки и геометрия расположения образцов в вакуумной камере. При конденсации ионно-плазменного потока по схеме II образцы размещались на стенках цилиндрического анода вблизи катода. В третьей главе приводятся основные результаты исследований и их обсуждение по влиянию времени конденсации и расположения образцов в вакуумной камере на микроструктуру, фазовый состав, кристаллическую структуру и микротвердость покрытий нитрида титана, полученных методом конденсации с ионной бомбардировкой. Для покрытий, полученных вблизи титанового катода по схеме II, средний размер макрочастиц и капельной фазы изменяется от 1.04±0.06 до 1.86±0.05 мкм (рис. Величину толщины покрытия нитрида титана h или скорости роста (dh/d?) на подложке, обусловленную взаимодействием заряженных и атомных частиц с поверхностью твердого тела, в момент времени ? можно найти из выражения: , конденсация кристаллический пленочный где ?, S - коэффициенты конденсации и распыления; Ф - геометрический параметр распылительной системы; ?, ? - углы распыления и конденсации; R - расстояние от катода (мишени) до подложки.
План
Основное содержание диссертации отражено в следующих работах
1. Смоланов Н.А., Панькин Н.А. Влияние ионно-плазменной обработки на механические свойства изделий для производства кабеля // Вестник САМГТУ. Физико-математические науки. - 2004. - № 27. - С. 175-178.
2. Панькин Н.А., Смоланов Н.А. Влияние местоположения образца в межэлектродном пространстве на структуру и свойства TIN-покрытий // Поверхность. - 2006. - № 10. - С. 54-57.
3. Смоланов Н.А., Бузлаев А.В., Панькин Н.А. Применение ионно-плазменных покрытий для модификации поверхности вальцов кабельного производства // Поверхность. - 2006. - № 10. - С. 58-62.
4. Панькин Н.А., Смоланов Н.А. Исследование зависимости физико-механических свойств ионно-плазменных покрытий нитрида титана от расстояния «катод-подложка» // IV Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии. - Иваново, 2005. - Т. 1. - С. 288-290.
5. Панькин Н.А., Смоланов Н.А. Изменение структуры и свойств поверхности при нанесении ионно-плазменных покрытий нитрида титана // Тонкие пленки и наноструктуры. Пленки - 2005: Материалы Международной научной конференции. - М., 2005. - С. 136 - 139.
6. Панькин Н.А., Смоланов Н.А. Расчет толщины пленок, полученных методом КИБ на установке типа ННВ // Материалы нано-, микро-, оптоэлектроники и волоконной оптики: Физические свойства и применение: Сборник трудов 6-й Всероссийской молодежной научной школы. - Саранск, 2007. - С. 71.
7. Панькин Н.А., Смоланов Н.А. Рентгенографическое исследование покрытий, полученных вблизи катода при ионно-плазменном осаждении // Тезисы докладов Шестой Национальной конференции по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов (РСНЭ-2007). - М., 2007. - С. 320.
8. Панькин Н.А., Смоланов Н.А. Остаточные напряжения и микротвердость конденсата, полученного вблизи титанового катода при нанесении TIN-покрытий методом конденсации с ионной бомбардировкой // Тезисы докладов XXXV звенигородской конференции по физике плазмы и УТС. - М., 2008 г. - С. 295.
Размещено на .ru
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
