Визначення параметрів плівково-поверхневих структур методом обвідних спектрів - Автореферат

Більше того, є ряд напрямків мікроелектроніки, де застосовують спеціальні фізико-хімічні технології реконструкції поверхні для створення широко спектру сенсорних функціональних пристроїв на плівково-поверхневих структурах. Незважаючи на те, що в літературі висловлювалась думка про те, що ця задача в основному вирішена, тим не менше останнім часом з точки зору вирішення прямої чи оберненої спектрофотометричних завдань зясувалась актуальність розробки загального підходу до опису спектрів багатопроменевої інтерференції з позиції аналізу закономірностей формування їх обвідних як значень енергетичних коефіцієнтів відбиття Актуальність методу обвідних спектрів особливо визріла останнім часом, коли було обґрунтовано принципово новий підхід аналізу апаратних функцій інтерферограм та принципово нова можливість реконструкції фази із експериментального спектру відбиття та застосування кутової спектроскопії багатопроменевої інтерференції для визначення параметрів тонких і надтонких шарів. Таким чином, на момент формулювання основної задачі дисертації в літературі не був розроблений загальний підхід до визначення параметрів плівково-поверхневих структур методом обвідних амплітудно-фазових спектрів Фабрі-Перо відбивання і пропускання світла, навіть для найпростішого виду одношаровими структурами. IMG_3271a088-5902-4817-a611-aa4335646608 із оптичноми та геометричними параметрами середовищ, що їх утворюють, актуальними постали дослідження фізичних умов формування значень обвідних спектрів відбиття, пропускання та фази плоских електромагнітних хвиль непровідними ділектричними та напівпровідниковими плоскопаралельними плівково-поверхневими одношаровими структурами в ділянці прозорості і поглинання, при нормальному і похилому проходженні променем меж поділів з метою встановлення нових фізичних закономірностей, формування спектроскопії багатопроменевої інтерференції і розширення фукнціональних можливостей методу обвідних як базового в мікро-і наноелектроніці для визначення параметрів плівково-поверхневих непровідних структур.Сформульовано мету та завдання роботи, предмет та методи дослідження, відзначено наукову новизну та практичну цінність отриманих результатів.ПАРАМЕТРІВ ПЛІВКОВИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ ФАБРІ-ПЕРО ”(огляд літератури) має оглядово-аналітичний характер. В цьому розділі у межах електромаґнітної оптики зроблено стислий огляд основних моделей математичного опису амплітудно-фазової спектроскопії відбиття та пропускання світла плівковими одношаровими плоскопаралельними структурами (рис.1). Основні результати цього розділу можна сформулювати так: 1.В залежності від співвідношення між показниками заломлень середовищ, що утворюють плоскопаралельний плівковий резонатор Фабрі-Перо та зсувів фаз світла на межах поділів середовище-резонатор 12 і резонатор-середовище 23 одноплівкові структури доцільно поділити на чотири групи несиметричних структур: І-а - для якої ; ІІ-га, для якої; ІІІ-тя, для якої і,; IV-та, для якоїі і одну симетричну V-та, для якої . Як показано в дисертації, саме завдяки розробленому фізичному принципові класифікації представляється можливим методом обвідних встановити кореляцію між закономірностями формування амплітудних і фазових спектрів в залежності від співвідношення між показниками заломлень середовищ, що утворюють структуру. Для опису амплітудно-фазових спектрів Фабрі-Перо одноплівкових структур використовувались в літературі добре відомі співвідношення для енергетичних коефіцієнтів відбиття і пропускання та тангенсів змін відповідних фаз;, де , індекси 12 і 23 відповідають границям разділів напівобмежене середовищеВстановлено, що багатопроменева інтерференція акутальна лише за межами резонансного стану. IMG_092a36e1-c551-4b0b-9cb9-e4cacb245c34 , в якому амплітудно-фазовий спектр формується так, ніби електромагнітна хвиля відбивається від напівобмеженого середовища з резонансними оптичними властивостясми (1) (рис.3). Коли поглинальна плоскопаралельна плівка знаходиться у вільному стані або закріплена на прозорій підкладці. Коли прозора плівка закріплена на резонансно поглинальній підкладці. Для прозорих полівок на поверхні резонансно поглинальної підкладки встановлено що на частотіЗ позиції аналізу закономірностей обвідних спектрів багатопроменевої інтерференції показано, що представляється можливим побудувати систему на основі експериментально вимірюваних значеньУ дисертації в наближенні плоских хвиль та просторово одновимірної моделі здійснено комплекс досліджень фізичних умов для визначення параметрів плівково-поверхневих структур методом обвідних спектрів IMG_bdd63ebe-d22f-4803-9fa1-301239052a23 , IMG_1535d069-4f83-4011-a171-2e6d34595053 в залежності від значень параметрів середовищ, і розроблений загальний метод обвідних для моделювання амплітудно-фазових спектрів відбивання і пропускання світла напівпровідниковими та діелектричними плівково-поверхневими одношаровими плоскопаралельними структурами як в області прозорості, так і в області поглинання при нормальному, так і при похилому проходженн

ОСНОВНИЙ ЗМІСТ РОБОТИ