Роль различных механизмов в формировании потока вещества при распылении одно- и двухкомпонентных мишеней. Влияние атомов на угловые распределения компонентов при распылении Ni-Pd сплавов. Изучение распыления кремния и германия на стадии ионного облучения.
При низкой оригинальности работы "Угловые распределения атомов при распылении одно- и двухкомпонентных материалов", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
