Принцип действия и характеристики турбомолекулярных насосов. Переход молекул газа через вращающееся рабочее колесо насоса. Мощность и скорость откачки, определяемая наружным диаметром роторных ступеней, длиной лопаток, их количеством, скоростью вращения.
В корпусе с установленными в нем неподвижными статорными дисками вращается ротор, представляющий собой вал с расположенными на нем рабочими колесами, которые выполнены в виде дисков с выфрезерованными косыми радиальными пазами или в виде лопаточных колес; их лопатки установлены под определенным углом к торцевой поверхности втулки. Если рабочие колеса имеют лопатки, то и статорные колеса выполняют с лопатками, обычно с тем же углом установки, но зеркально отраженными по отношению к углу установки лопаток рабочего колеса. Переход молекул газа через вращающееся рабочее колесо насоса обусловлен различием сопротивлений межлопаточных каналов, образованных двумя соседними лопатками или стенками выфрезерованного паза, потокам молекул газа с противоположных сторон. Масс-спектрометрические измерения парциальных давлений в откачиваемом объеме и экспериментальные данные турбомолекулярных насосов при стендовых испытаниях ив реальных условиях их работы на откачных постах свидетельствуют об их высоких эксплуатационных характеристиках и, в частности, об обеспечении ими безмасляного откачивания. Откачная характеристика турбомолекулярного насоса - зависимость быстроты действия от давления всасывания - определяется, прежде всего, откачными характеристиками рабочих колес, определяемыми двумя основными параметрами: максимальной быстротой откачки при отношении давлений, равном единице и максимальным отношением давлений при быстроте откачки, равной нулю.
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
