Характеристика кремниевой объёмной микрообработки. Рассмотрение маскирования полимерами и тонкими плёнками. Изучение прохождения химического осаждения из паровой фазы при пониженном давлении поликристаллического кремния или фосфорокварцевого стекла.
. Технологии производства микроактюаторовЭто технология объемной микрообработки, поверхностной микрообработки, LIGA и SIGA технологии, а также MUMPS процесс. Под кремниевой объемной микрообработкой понимают технологию глубинного объемного травления, при чем травление может быть как жидкое химическое анизотропное, так и плазменное. Особенности процесса заключаются в том, что этот процесс можно комбинировать с технологией тонких пленок и с технологией КМОП. Химическое воздействие: с обратной стороны (мембраны, отверстия)-геометрическая форма определяется шаблоном маски, с передней стороны (консоли, каналы, затворы) - геометрическая форма определяется подтравливанием. Химическое воздействие: с обратной стороны (мембраны, каналы) - геометрическая форма определяется кристаллографическими плоскостями, с передней стороны (консоли, каналы) - геометрическая форма определяется подтравливанием.
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
