История возникновения и развития ОАО "НИТЕЛ", его организационная структура и характеристика деятельности. Описание принципов создания пленочных интегральных микросхем. Особенности формирования диэлектрических слоев. Технология напыления тонких пленок.
9 3.2 Получение тонких плёнок 10 3.3 Формирование диэлектрических слоёв 10 3.3.1 Осаждение тонких плёнок в вакууме 11 3.3.2 Ионное (катодное), ионно-плазменное, магнетронное и ионно-термическое распыления 11 3.4 Методы определения толщины плёнок 15 3.4.1 Метод кварцевого вибратора 15 3.4.2 Резистивный и ёмкостный методы 16 3.4.3 Метод эллипсометрии 16 3.4.4 Ионизация молекулярного потока 16 4. Практическая часть 18 4.1 Технологические процессы напыления тонких плёнок 18 4.2 Материалы, используемые для напыления резистивных плёнок 18 4.3 Технические требования к технологическим процессам напыления 19 4.4 Технические данные 21 4.5 Принцип работы установки УВН-75П-1 23 4.6 Схема установки УВН-75П-1 24 4.7 Напыление слоёв хрома, меди на лицевую и обратную стороны подложки 25 4.8 Измерение удельного поверхностного сопротивления сплошных резистивных слоёв 27 Выводы 29 Список литературы 30 1 История предприятия В 1946 году заводу № 197 поручается модернизация РЛС П-3
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
