Совершенствование цифровых регуляторов мощности электротермических установок выращивания монокристаллических материалов путем оптимизации управления дискретно-регулируемыми трансформаторами - Автореферат

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Совершенствование цифровых регуляторов мощности электротермических установок выращивания монокристаллических материалов путем оптимизации управления дискретно-регулируемыми трансформаторамиРабота выполнена в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Рыбинская государственная авиационная технологическая академия имени П. А. Научный руководитель: доктор технических наук, профессор Юдин Виктор Василевич Защита состоится 26 ноября 2008 г. в 12 : 00 часов на заседании диссертационного совета Д212.210.04 в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Рыбинская государственная авиационная технологическая академия имени П. А. С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Рыбинская государственная авиационная технологическая академия имени П. А.При изготовлении подложек интегральных микросхем при температуре 1500 ?С требуется обеспечение точности 3 - 4 градуса, а при выращивании кристаллов при температуре 1000 ?С точность поддержания температурного режима составляет 0,2 ?С. Повышение точности регулирования сопряжено с необходимостью увеличения количества дискретных уровней цифрового регулятора. Принцип их регулирования состоит в том, что регулировочная обмотка выполняется по схеме суммирования отдельных секций, числа витков которых пропорциональны целой степени числа два. При регулировании в таких регуляторах путем коммутации обмоток осуществляют выбор определенных комбинаций секций, обеспечивающих получение необходимого уровня выходного напряжения трансформатора. Вопросам практического использования цифровых регуляторов посвящен ряд исследований таких ученых как Миловзоров В. П. и Мусолина А.К., разработавших принципы построения цифровых регуляторов и стабилизаторов, а также Юдин В. В., разработавший метод объединенных матриц для анализа электромагнитных схем и принципы построения цифровых преобразователей переменного напряжения.При питании ЭПС постоянной мощностью P, уравнение зависимости температуры печи Т от времени t имеет вид: (1) где ? - постоянная времени ЭПС, TN - начальное значение температуры, TU - ее установившееся значение, которое связано с температурой окружающей среды TS, уровнем мощности P и коэффициентом теплопроводности l в соотношении При импульсном режиме питания, когда на ЭПС, имеющую постоянную времени ?, поступает последовательность импульсов длительностью q мощностью PM , следующих с периодом TR Третья глава посвящена цифровым регуляторам с временной вариацией компонентов управляющих кодов, сущность регулирования в которых заключается в том, что управляющий двоичный код в общем случае представляют в виде трех компонентов . В результате такого регулирования на ДРТ c числом дискретных уровней коэффициентов трансформации 2n удается реализовать 2n m p дискретных уровней мощности, что проиллюстрировано диаграммами (табл.1) для случая, когда компонент Y отсутствует, т.е.