Последовательность этапов образования зародышей и роста пленки вплоть до образования непрерывной. Зарождение частиц новой фазы. Изменение формы островков в процессе их коалесценции. Образование каналов и их заполнение. Формирование сплошной пленки.
Зародыши соприкасаются друг с другом и срастаются, с тем чтобы образовать новый островок, занимающий площадь меньше, чем сумма площадей двух начальных зародышей; это приводит к увеличению свободной поверхности подложки. 1 Различают четыре стадии процесса роста: зарождение частиц новой фазы (зародышей) и островковой структуры, срастание или коалесценция островков, образование каналов, образование непрерывной пленки. На этом этапе происходит столкновение атомов из газовой фазы с поверхностью подложки, после чего атомы могут прочно закрепиться на подложке, либо через некоторое время реиспариться, либо упруго отразиться от поверхности. Диффузия зародышей по поверхности, как правило, на много порядков меньше диффузии отдельных атомов и уменьшается по мере роста размеров зародыша. Поэтому считается, что зародыши на поверхности неподвижны.
План
Содержание
Четыре стадии роста пленки
Зарождение частиц новой фазы
Коалесценция островков
Образование каналов
Образование сплошной пленки
Список литературы
Список литературы
зародыш пленка островок коалесценция канал
1. Р. Берри и др. Тонкопленочные технологии. - М.: «Энергия» 1972г.
2. Технология тонких пленок. Справочник под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга - М.: Советское радио, 1977г. 1Т.
3. Технология тонких пленок. Справочник под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга - М.: Советское радио, 1977г. 2Т.
4. «Получение пленок» с сайта http://www.eltech.ru/kafedrs/fet?eips/golman/book
5. «Модельные представления начальных стадий роста пленок» с сайта http://ioffe.org/woe/8201/study/andreev/index.html
6. «Термодинамика образования зародышей пленки» с сайта http://pereplet.ru/obrazovanie/plenki
7. «Получение пленок» с сайта http://ktf.krk.ru/courses
Размещено на .ru
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
