Разработка концепции построения микроакселерометра на поверхностных акустических волнах. Аналитический расчет и моделирование с помощью программы ANSYS частот собственных колебаний микромеханических акселерометров на поверхностных акустических волнах.
При низкой оригинальности работы "Разработка микроакселерометра на поверхностных акустических волнах", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
Автореферат диссертации на соискание ученой степени Специальность: 05.11.16 - Информационно-измерительные и управляющие системы (приборостроение) кандидата технических наук Работа выполнена в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете “ЛЭТИ” им. Официальные оппоненты: доктор технических наук, профессор Аббакумов К.Е. кандидат технических наук Евстифеев М.И. Защита диссертации состоится “31 ”октября 2007 г. в 12.00 часов на заседании диссертационного совета Д 212.238.06 Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета “ЛЭТИ” имени В.И.Микромеханические датчики инерциальных систем навигации и управления находят все более широкое применение на подвижных объектах различного класса гражданского и военного применения. Успехи в развитии методов и средств производства изделий микроэлектроники позволили создать необходимую базу для разработки и массового выпуска микромеханических акселерометров (ММА), которые получили название твердотельных. Как правило, они используют набор дискретных упругих подвесов, обеспечивающих необходимые степени свободы инерционным элементам. Определенные перспективы открываются при переходе к специфическому классу приборов и систем, использующих свойства поверхностных акустических волн (ПАВ) в пьезоэлектриках. Исключительная простота кинематической схемы и высокий уровень конструктивной интеграции создают предпосылки для повышения точностных характеристик, уменьшения общих габаритов и существенного уменьшения общей стоимости их производства.Разработана концепция построения ММА на ПАВ, найдены частоты и формы собственных колебаний чувствительного элемента, определяющие динамические характеристики ММА. Предложена модель генератора с ПАВ-резонаторами для расчета основных характеристик ММА. Произведена оптимизация консоли ЧЭ микроакселерометра, обеспечивающая равномерное распределение нормальных напряжений и относительных деформаций по всей ее длине кроме краевых областей. Выполнена градуировка ММА на ПАВ в гравитационном поле Земли с использованием поворотной платформы и центрифуги фирмы “Acutronic”.
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
