Конструкции балочных актюаторов, принцип действия которых основан на электростатическом, пьезоэлектрическом, магнитном и других эффектах. Оценка скорости срабатывания актюатора. Разработка конструкции микрозеркала на основе биморфного термоактюатора.
При низкой оригинальности работы "Разработка биморфного термоактюатора и конструкции микрозеркала на его основе", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
Разработка биморфного термоактюатора и конструкции микрозеркала на его основеПосле проведенного анализа доступных информационных источников можно заключить, что только актюаторы, функционирующие на принципе термостимулированного биморфного эффекта, способны обеспечивать отклонение балки актюатора на угол более 15° при относительно небольших геометрических размерах [6]. Для обеспечения работоспособности актюатора необходим процесс высвобождения балки от кремниевой основы, который выполняется путем глубокого селективного травления кремния (рис. В случае подачи напряжения на нагреватель за счет теплового расширения конструкционных материалов и различий в их ТКЛР, балка актюатора отклоняется вниз от исходного искривленного положения к плоскости пластины, причем угол отклонения от исходного положения тем больше, чем больше температура нагрева. Для оценки времени срабатывания актюатора примем следующие параметры: толщина поликремниевого нагревателя ?SI =0,4мкм, ширина полоски нагревателя HSI =2мкм, длина нагревателя LSI*=200мкм, удельное электрическое сопротивление алюминия ?AL =0,0271 Ом·мм2/м, удельное электрическое сопротивление поликремния ?SI =6 Ом·мм, площадь сечения нагревателя Sсечения =0,8мкм2. Количество тепла, уходящее с поверхности нагревателя во внешнюю среду: , (4) где ?T1 - разница температур до нагрева и после нагрева, ? - коэффициент теплоотдачи с поверхности, определяемый условиями естественной конвекции, ?SI - теплопроводность поликремния, ?SI - толщина слоя поликремния.Выполнена расчетная оценка угла отклонения балки биморфного балочного актюатора на основе SIO2 и Al и времени его срабатывания.
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
