Процеси формування та основні оптичні властивості тонких плівок тіогалату цинку - Автореферат

Автореферат дисертації на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук ПРОЦЕСИ ФОРМУВАННЯ ТА ОСНОВНІ ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ТОНКИХ ПЛІВОК ТІОГАЛАТУ ЦИНКУРобота виконана на кафедрі твердотільної електроніки і в Науково-дослідному інституті фізики і хімії твердого тіла Ужгородського державного університету. Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук, професор, Лауреат Держпремії України в галузі науки і техніки, Заслужений винахідник України ДОВГОШЕЙ МИКОЛА ІВАНОВИЧ, Ужгородський державний університет, професор кафедри твердотільної електроніки Офіційні опоненти: доктор фізико-математичних наук, професор доктор фізико-математичних наук, професор Захист відбудеться 14 квітня 2000 р. о 15 годині на засіданні спеціалізованої ради Д 76.051.01 при Чернівецькому державному університеті ім.Вивчення фундаментальних явищ у фізиці твердого тіла завжди супроводжується їх дослідженням у тонких шарах, які характеризуються різноманітними модифікаціями, повязаними з густиною структурних дефектів, технологією і розмірними ефектами. Останнім часом приділяється багато уваги речовинам класу потрійних сполук AIIB2IIIC4VI, до яких відноситься тіогалат цинку ZNGA2S4. Дисертаційне дослідження виконувалося в лабораторіях Інституту фізики і хімії твердого тіла при УЖДУ та кафедри твердотільної електроніки Ужгородського держуніверситету в рамках теми "Розробка високоефективної технології одержання високотемпературних широкозонних плівкових матеріалів", шифр ДНТП-126 (5.44.06/024-92), № держреєстрації 01930019624. Для досягнення даної мети необхідно було розвязати такі задачі: - здійснити теоретичний аналіз і експериментальне дослідження процесів випаровування й осадження речовини тіогалату цинку при одержанні тонких плівок. Основні результати роботи доповідалися й обговорювалися на Міжнародному семінарі з прогресивних технологій багатокомпонентних плівок і структур (Ужгород, 1994 р.), VI Міжнародному симпозіумі "Тонкие пленки в электронике" (Херсон, 1995 р.); Науково-практичному симпозіумі "Вакуумные технологии и оборудование" (Харків, 1995 р.); X Міжнародній конференції по тонких плівках (Саламанка, Іспанія, 1996 р.); Міжнародному семінарі з прогресивних технологій багатокомпонентних плівок і структур та їх застосування у фотоніці (Ужгород, 1996 р.); VI Міжнародній конференції "Фізика і технологія тонких плівок" (Івано-Франківськ, 1997 р.); Міжнародній конференції по оптичній діагностиці матеріалів та пристроїв для опто-, мікро-і квантової електроніки (Київ, 1997 р.); Міжнародній науковій конференції "Фізична наука сьогодні і після 2000 року" (Пряшів, Словаччина, 1998 р.); Міжнародному семінарі по фізиці і технології наноструктурних, багатокомпонентних матеріалів (Ужгород, 1998 р.); Міжнародній конференції "Матеріали та властивості матеріалів для інфрачервоної електроніки" (Київ, 1998 р.); 2-ому Науково-практичному симпозіумі "Вакуумні технології й обладнання" (Харків, 1998 р.); Міжнародній конференції “Advanced materials for information recording and radiation monitoring”, Київ, 1999 р.; конференціях аспірантів і молодих вчених Ужгородського держуніверситету (1994 - 1998 рр.)Базуючись на приведеному аналізі, тут обгрунтовані задачі даної дисертаційної роботи: створення відтворюваної методики одержання тонких шарів тіогалату цинку, дослідження оптичних властивостей тіогалату цинку у плівковому виконанні, а також визначення впливу на них термічної і лазерної обробки. У другому розділі приведено також результати розрахунку енергетичних параметрів (енергії звязку, силових констант звязку) формування моношару плівки ZNGA2S4 на підкладці, здійсненого з метою дослідити елементарні процеси взаємодії компонент пари даної сполуки з атомами поверхні підкладки і з осаджуваним конденсатом. Дані методи мають такі переваги, як високий ступінь технологічної чистоти, можливість напилення тугоплавких і багатокомпонентних по хімічному складу матеріалів з відновленням у плівці складу випаровуваної мішені, широкий діапазон регулювання параметрів випаровування, можливість застосування мішені практично будь-якої форми і структури, в тому числі і монокристалу, можливість утворення точкового випаровувача на самій мішені, синхронного і послідовного випаровування кількох мішеней в єдиному технологічному циклі для одержання багатошарових структур, зростання ефективних умов вакуумної чистоти, можливість застосування будь-якого реактивного газу при напиленні плівок та ін. В якості джерела випромінювання для імпульсного розпилення мішені застосовувався стандартний лазер ЛТИПЧ-7 з довжиною хвилі випромінювання 1.06 мкм, який працює на основній довжині хвилі в двох режимах: вільної генерації (ВГ) з енергією в імпульсі 0.3 Дж й гігантських імпульсів (ГІ) (або модульованої добротності) з енергією в імпульсі 0.1 Дж. Методом ІЛН плівки тіогалату цинку напилювалися на підкладки NACL і монокристалічні кварцеві, які є найбільш придатними для оптичних досліджень завдяки своїй прозор

ОСНОВНИЙ ЗМІСТ РОБОТИ