Определение характеристик произвольных гетерогенных систем, основанных на принципе максимума энтропии. Моделирование химических равновесий при высоких температурах. Изучение влияния мольного состава на термическую стойкость нитрида кремния в аргоне.
ПРОГНОЗНАЯ ОЦЕНКА ТЕРМИЧЕСКОЙ СТОЙКОСТИ НИТРИДА КРЕМНИЯРазвит метод прогнозной оценки термической стойкости нитрида кремния путем компьютерного моделирования с помощью программного комплекса «АСТРА.4/рс», а также на основе полученной универсальной зависимости температуры разложения от парциального давления азота либо имеющегося в системе, либо выделяющегося при разложения нитрида. В частности, получено, что разложение Si3N4 происходит при температуре Т=1973?2173К по реакции Si3N4(к)>3Si(к) 2N2, т.е. с образованием конденсированного кремния (Si(к)) и выделением азота (N2). Здесь Р - общее давление газа, PN2 - парциальное давление азота (МПА) либо имеющегося в системе, либо получающегося при разложения нитрида, х - мольная доля газа, ТК (К) - температура конца разложения, Т0.1 (К) - температура, соответствующая 10% разложения исходного нитрида. Температура Т0.1 определяется достаточно надежно, тогда как при больших мольных долях водорода и аргона указать температуру начала разложения затруднительно изза плавного уменьшения концентрации нитрида. Значение PN2 может быть вычислено по результатам расчета компонентного состава программы «АСТРА.4/рс», а именно, PN2 , для азота PN2 , где N2, Ar, Н2 - мольные доли азота, аргона и водорода при температуре выше температуры разложения ТК, Р - полное давление газа.
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
