Исследование возможности сравнительно дешевого нанесения пленок алмаза и кубического нитрида бора на изделия на различные поверхности при относительно низких температурах и давлениях. Описание техники получения пленок алмаза и кубического нитрида бора.
ПЛЕНКИ АЛМАЗА И КУБИЧЕСКОГО НИТРИДА БОРАВозможность сравнительно дешевого нанесения пленок алмаза и кубического нитрида бора (КНБ) на изделия на различные поверхности при относительно низких температурах и давлениях представляет огромный научный и практический интерес. Наряду с выбором способа нанесения пленок, существенными вопросами являются выбор и подготовка наносимой подложки и поверхности, на которую наносится пленка, контроль плотности струи паровой фазы, ее температуры и температуры подложки. В работах 1946-2000 гг. [1-8] была показана принципиальная возможность получения метастабильных фаз, в том числе алмаза и кубического нитрида бора в виде тонких пленок и дисперсных образований при сравнительно низких температурах, близких или ниже комнатных, и при пониженных давлениях. Нанесение пленок метастабильных фаз в значительной мере базируется на теории образования метастабильных фаз [3,9] в условиях значительного отклонения от состояния равновесия по температуре и давлению (термодинамического пересыщения). Фазовая p-T диаграмма нитрида бора [10]: 1, 2 - линии a-b - превращения, рассчитанные в работе [10] (1) и в работе [11] (2); линия превращения графит - алмаз [12].
Список литературы
1. Сирота Н.Н. //Техническая физика 1946. №9. С. 1136-1148.
2. Сирота Н.Н. // Доклады АН СССР. 1943. Т. 39. №8. С. 355-358.
3. Сирота Н.Н. //В кн. Кристаллизация и фазовые переходы. Минск: АН БССР. 1962. С. 11-58.
4. Sirota N.N. // Crystal Res. & Technol. 1982. V. 17. №6. p. 661-691.
5. Sirota N.N. // Crystal Res. & Technol. 1987. V. 22. № 11. p. 1343-1381.
6. Сирота Н.Н. // Весці АН Беларусі. Серыя фіз.-мат. навук. 1996. №4. С. 82-90.
7. Сирота Н.Н. // Матер. эл. техн. 1999. №2. С. 13-16.
8. Сирота Н.Н.. Теория метастабильных состояний и образование метастабильной фазы алмаза. //Доклад на отделении химии АН Болгарии 22 ноября 1969 г..
9. Скрипов В.П. Метастабильная жидкость. М., 1972. 456 с.
10. Сирота Н.Н., Кофман Н.А. //Доклады АН СССР. 1979. Т. 249. № 6. С. 1346-1348.
11. Corrigan F.R., Bundy F.P. // J. Chem. Phys. 1975. V. 63. №9. p. 3812.
12. Bundy F.P., Wentorff R.H. // J. Chem. Phys. 1963. V. 3B. №5. p. 1144.
