Анализ технологии получения пленок оксида и оксикарбида хрома из металлорганических соединений. Описание лабораторных установок для получения пленок на основе хрома и возможного их легирования. Исследования по изменению соотношения МОС-хром–окислитель.
При низкой оригинальности работы "Особенности получения пленок хрома, окиси хрома и оксикарбида хрома по МОС-технологии", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
Особенности получения пленок хрома, окиси хрома и оксикарбида хрома по МОС-технологииТаким образом, имея концентрацию окислителя в составе исходных компонент МОС-окислитель, можно управлять свойствами получаемой пиролитической пленки.
Вывод
Таким образом, имея концентрацию окислителя в составе исходных компонент МОС-окислитель, можно управлять свойствами получаемой пиролитической пленки. Незначительное количество окислителя (10-20%) в реакционной камере приводит, в основном, к образованию карбидных фаз в оксикарбиде хрома, что способствует получению высокопрочных покрытий.
Введение значительного количества окислителя (30-50%) в состав исходных компонент способствует, в основном, оксидной фазы хрома, что приводит к разрыхлению получаемой пленки и, как следствие, к уменьшению микротвердости.
Список литературы
1. В. Ф. Корзо, В. А. Курочкин, В. П. Демин. / Пленки из элементоорганических соединений в радиоэлектронике / - Москва: Энергия, 1973. - 192 с.
2. Г. Разуваев, Б. Грибов, Г. Домрачев, Б. Саламатин, Металлоорганические соединения в электронике / Москва: Наука, 1972.
3. Харвуд, Дж. / Промышленное применение металлоорганических соединений / Д. Харвуд . - : Химия , 1970 . - 350 с.
4. В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев / Диэлектрические пленки в микроэлектронике / - М.: Энергия, 1977. - 368 с.
5. В.П.Васильченко, М.Я.Рахлин, В.Е.Родионов / Получение диэлектрических слоев из металлорганических соединений и их применение и свойства / Уч. записки ТГУ, Тарту, №908, 1999, С.85-100
6. Родионова Н.А., Шмидко И.Н., Родионов Е.В. / Оптические характеристики пленок оксида хрома, полученных по МОС технологии / Research Journal of International Studies, Екатеринбург, №7 (38), 2015 г., С.40-43.
7. Родионова Н.А., Шмидко И.Н., Родионов Е.В. / Механические свойства пленок оксида хрома в зависимости от технологических факторов / Research Journal of International Studies, Екатеринбург, №7 (38), 2015 г., С.44-46.
8. Ави Дауах / Электрические свойства тонкопленочных структур, полученных методом эпитаксии атомными слоями / Journal of Applied Physics, 1993, V.74, No 9, P.5575
9. Федоренко А.И. / Эффекты межфазного взаимодействия в тонких пленках / Диссертация доктора физ.-мат. наук, 1978, Харьков, ХПИ.
10. Берсукер И.Б. / Электронное строение и свойства координационных соединений / - Л.: Химия, 1986. - 288 с.
11. Рабинович И.Б., Нистратов В.П. / Трактат по химии и химическим технологиям / вып.1, 1974, С.16-28
12. Грибов Б.Г., Румянцева В.П., Травкин Н.н. и др. Получение пленок хрома термическим разложением галоидных производных бис-ареновых соединений хрома // Электронная техника, 1971. Т. 3, вып. 1. С. 21-24.
Размещено на .ru
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
