Получение многослойных покрытий путем физического осаждения из паровой фазы. Использование автоматической системы клапанов. Изменения структуры и химического состояния пленок при разных толщинах слоя. Условия осаждения многослойных наноразмерных пленок.
При низкой оригинальности работы "Нанопленки TiN/BN, полученные плазменным улучшенным химическим осаждением из паровой фазы", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
Многослойные покрытия были получены в большинстве случаев путем физического осаждения из паровой фазы (PVD), такого как распыление и испарения дуги, а не путем химического осаждения из паровой фазы (CVD), поскольку PVD позволяет более эффективно контролировать толщину и составную модуляцию каждого слоя. В этом исследовании наноразмерный TIN/BNМНОГОСЛОЙНЫЙ слой был осажден PECVD с использованием автоматической системы клапанов. Для осаждения TIN использовали газовую смесь TICL4, H2 и NH3, а Ar использовали в качестве газа-носителя для TICL4. Для осаждения BN использовалась газовая смесь BCL3, H2, Ar и NH3, а TICL4 и BCL3 подавались попеременно с помощью автоматической регулируемой клапанной системы для осаждения многослойного покрытия TIN/BN. Толщина каждого слоя TIN и BN контролировали путем регулирования времени подачи реагентных газов TIN и BN со ссылкой на скорость осаждения монослоев TIN и BN.
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
