Встановлення механізмів і закономірностей формування дифракційних зображень окремих дефектів у кремнію та їх комплексів на секційних і проекційних топограмах при дії зовнішніх чинників. Визначення інтегральних характеристик Х-хвильової дифракції.
При низкой оригинальности работы "Моделювання Х-променевих топографічних зображень дефектів у реальних кристалах Si", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
