Виды микрооптикоэлектромеханических систем. Анализ конструкции интегральных микромеханических зеркал с крестообразным и интегрированным внутренними подвесами. Разработка модели равновесия зеркальных элементов и ее использование при их проектировании.
При низкой оригинальности работы "Модель равновесия подвижных элементов микромеханических зеркал с внутренними подвесами", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
