Аналіз нових методів та моделей підвищення точності вимірювання розмірів об’єктів скануючими зондовими мікроскопами в діапазоні від 1 нм до 1000 нм. Метод сканування, який дає можливість проводити вимірювання параметрів поверхні з нахилом бічних стінок.