Аналіз нових методів та моделей підвищення точності вимірювання розмірів об’єктів скануючими зондовими мікроскопами в діапазоні від 1 нм до 1000 нм. Метод сканування, який дає можливість проводити вимірювання параметрів поверхні з нахилом бічних стінок.
При низкой оригинальности работы "Методи та моделі підвищення точності вимірювання геометричних розмірів об’єктів зондовими мікроскопами", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
