Характеристика методів отримання плівкових матеріалів, заснованих на фізичному випаровуванні: від історично перших методів термічного випаровування до сучасних іонно-плазмових, молекулярно-променевих та лазерних методів осадження. Рідкофазна епітаксія.
МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ, МОЛОДІ ТА СПОРТУ УКРАЇНИ Комплексна курсова робота МЕТОДИ ОТРИМАННЯ ПЛІВКОВИХ МАТЕРІАЛІВ ЕЛЕКТРОННОЇ ТЕХНІКИ Суми 2012 РЕФЕРАТ Об’єктом дослідження курсової роботи є методи отримання плівкових матеріалів. Мета роботи полягає у дослідженні методів отримання тонких плівок, їх схем роботи, а також зробити порівняльний аналіз цих методів. У результаті проведених досліджень встановлено, що немає оптимального методу отримання тонких плівок. Вибір методу залежить від типу необхідної плівки, від обмежень у виборі підкладок і часто, особливо у випадку багаторазового осадження, від загальної сумісності різних процесів, що протікають при застосуванні цього методу. На сьогодні найбільш розповсюдженими методами отримання тонких плівок є: термічне осадження, магнетронне розпилення, лазерне розпилення та електрохімічне осадження покриттів. Робота викладена на 38 сторінках, у тому числі включає 12 рисунків, 1 таблицю та список цитованої літератури із 22 джерел. КЛЮЧОВІ СЛОВА: ПЛІВКОВІ МАТЕРІАЛИ,
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
