Механізми формування тонких плівок, отриманих різними методами іонно-плазмового осаджування - Автореферат

бесплатно 0
4.5 172
Фізико-технологічні параметри процесу формування тонких плівок шляхом термоіонного і реакційного термоіонного осаджування, різних модифікацій магнетронного розпилення та методами активованого плазмою хімічного осадження і лазерного випаровування.


Аннотация к работе
Робота виконана в Інституті проблем матеріалознавства ім. Національної Академії наук України. Науковий консультант: доктор фізико-математичних наук член-кореспондент НАН України професор Курдюмов Олександр Вячеславович, Інститут проблем матеріалознавства НАН України, завідувач відділу.
Заказать написание новой работы



Дисциплины научных работ



Хотите, перезвоним вам?