Фізико-технологічні параметри процесу формування тонких плівок шляхом термоіонного і реакційного термоіонного осаджування, різних модифікацій магнетронного розпилення та методами активованого плазмою хімічного осадження і лазерного випаровування.
При низкой оригинальности работы "Механізми формування тонких плівок, отриманих різними методами іонно-плазмового осаджування", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
Робота виконана в Інституті проблем матеріалознавства ім. Національної Академії наук України. Науковий консультант: доктор фізико-математичних наук член-кореспондент НАН України професор Курдюмов Олександр Вячеславович, Інститут проблем матеріалознавства НАН України, завідувач відділу.
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
