Маршруты формирования пленок на поверхности сапфира для газочувствительных датчиков с использованием лазерного излучения длиной волны 1064 нм. Экспериментальная оценка применения лазерного излучения для получения тонких пленок на поверхности подложки.
При низкой оригинальности работы "Исследование процессов получения пленок на сапфире для газочувствительных датчиков", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения пленка сапфир датчик Исследование процессов получения пленок на сапфире для газочувствительных датчиков Ю.В. Клунникова Аннотация В статье представлены разработанные автором технологические маршруты формирования пленок на поверхности сапфира для газочувствительных датчиков с использованием лазерного излучения длиной волны 1064 нм. Определено, что лазерное излучение позволяет повысить производительность при изготовлении газочувствительных элементов, модифицировать кристаллическую и дефектную структуру материалов, повысить качество оксидной пленки, воспроизводимость параметров пленки и их стабильность.
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
