Электронные резисты и их применение для 3D-структурирования. Исследование зависимости поглощенной дозы от способа экспонирования и плотности тока (макс-эффект). Совершенствование методов и процессов 3D-структурирования с помощью электронной литографии.
При низкой оригинальности работы "Исследование процессов 3D-структурирование в электронной литографии", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
