Технологии формирования наноструктурированных материалов и гибридных сенсорных систем на основе углеродных нанотрубок. Результаты моделирования наномеханического сенсора LR-типа в зависимости от изменений внешних воздействий с перекрытием по времени.
При низкой оригинальности работы "Интегральные сенсоры угловых скоростей и линейных ускорений LR-типа на основе углеродных нанотрубок", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
1 представлена топология микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений LR-типа на основе углеродных нанотрубок [4]. нанотрубка углеродный моделирование По сравнению с аналогичными устройствами, предлагаемый интегральный микромеханический сенсор с наноразмерными элементами позволяет сократить площадь подложки, используемую под размещение измерительных элементов величин угловой скорости и ускорения, за счет использования упругих балок, выполненных на основе углеродных нанотрубок. Однако выделить сигналы, несущие информацию исключительно о колебаниях чувствительных элементов под действием сил инерции Кориолиса и его перемещениях под действием сил инерции затруднено в силу отсутствия противофазного движения чувствительных элементов.
Список литературы
1. В.Д.Вернер, П.П.Мальцев, А.А.Резнев, А.Н.Сауров, Ю.А.Чаплыгин. Современные тенденции развития микросистемной техники // Нано- и микросистемная техника.- 2008.- №8.- С. 2-6.
2. В.Я.Распопов. Микромеханические приборы. - М.: Машиностроение.- 2007. - 400 с.
3. С.П.Тимошенков. Элементы микроэлектромеханических систем, реализуемых на составных структурах // Микросистемная техника.- 2002.- №4.- С. 3-6.
4. Пат. 2304273 Россия МКИ G 01 С 19/56, G 01 P 9/04. Интегральный микромеханический гироскоп на основе углеродных нанотрубок.
