Проведение экспериментальных исследований для формирования элементов и структур микрофлюидики для гибридных сенсорных систем. Суть параметров ионно-лучевого травления по шаблонам, исходя из анализа результатов эксперимента и создания микроканалов.
При низкой оригинальности работы "Формирование структур микрофлюидики для гибридных систем методом фокусированных ионных пучков", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
Формирование структур микрофлюидики для гибридных систем методом фокусированных ионных пучковВ последние годы интенсивное развитие интегральных гибридных систем экспресс-анализа жидкостей достигается за счет совершенствования технологических процессов формирования активных и пассивных элементов микрофлюидики. Метод позволяет производить операции ионно-лучевого травления при различных комбинациях технологических параметров с высокой разрешающей способностью (до 10 нм) [3]. Анализ сформированных методом ФИП структур микрофлюидики производился при помощи электронно-ионного сканирующего микроскопа Nova NANOLAB 600 (FEI Company, Нидерланды) [5-6]. Основными технологическими параметрами ионного пучка, использованными при формировании элементов микрофлюидики, являются: ток фокусированного ионного пучка, который составил 111,4 ПА, область перекрытия между двумя соседними точками воздействия - 50%, эффективный диаметр ионного пучка - 5 нм, а так же время воздействия ионного пучка в точке - 1·10-6с. После проведения ионно-лучевого травления методом ФИП образец по сверхвысоковакуумной магистрали передавался в модуль сканирующей зондовой микроскопии, где производился контроль параметров сформированных структур методом полуконтактной атомно-силовой микроскопии (АСМ).
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
