Вакуумно-плазменные методы формирования пленочных структур из тугоплавких оксидов. Особенности снижения влагосодержания в пленках путем отжига и получения покрытий с малой пористостью при электронно-лучевом испарении мишени и лазерной обработке структур.
При низкой оригинальности работы "Физико-технологические особенности вакуумных методов формирования оксидных покрытий", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
В данной дипломной работе были исследованы методы осаждения пленок тугоплавких окислов электроннолучевым, с помощью лазерного излучения, исследовали возможность качественного контроля толщины наносимых покрытий. Проведено исследование по определению оптических характеристик покрытий, параметров синтеза и отжига на влагосодержание и пористость. Снижение пористости достигается путем воздействия лазерного излучения, при этом пленки оксида кремния, имевшего пористость до обработки 0,630 (показатель преломления n=1,45), и после обработки пористость равна 0,161 с показателем преломления n=1,47. Оксид титана, пористость которого до обработки была равна 0,160, а после обработки стала 0,010 с показателем преломления от n=2,35 до n=2,46.
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
