Метод неразрушающего контроля состояния поверхности полупроводниковых пластин, параметров тонких поверхностных слоёв и границ раздела между ними. Методика измерений на эллипсометре компенсационного типа. Применение эллипсометрических методов контроля.
Эллипсометрия - метод неразрушающего контроля состояния поверхности полупроводниковых пластин, параметров тонких поверхностных слоев и границ раздела между ними, основанный на анализе изменения поляризации пучка поляризованного монохроматического света при его отражении от исследуемого объекта. Т.к. обычно измеряются параметры эллиптически поляризованного света, метод назван эллипсометрическим или просто эллипсометрией. Эта волна частично отражается от поверхности пленки под углом ?’, равным углу падения ?, а частично будет распространяться в глубь пленки под углом преломления ? (рис. Как известно, соотношение между углом падения и углом преломления определяется следующим законом: sin?/sin? = n1/n2 = n21 , где n1 и n2 - соответственно показатель преломления первой и второй оптической среды по ходу распространения волны. Взаимодействие электромагнитного поля с немагнитными средами определяется в основном его электрической составляющей Е?, которую можно разложить на две компоненты, поляризованные во взаимно перпендикулярных плоскостях: Е?= е?PEPCOS?p е?SESCOS?s , где е?р , е?s - единичные векторы поляризации, Ep, Es - амплитуды p-и s-составляющих вектор Е?, ?p,??s - фазы колебаний p-и s-составляющих.
Список литературы
1. Давыдов П. С. Техническая диагностика радиоэлектронных устройств и систем. - М.:Радио и связь, 2000. - 256 с.
2. Ермолов И.Н., Останин Ю.Я. Методы и средства неразрушающего контроля качества: Учеб. пособие для инженерно-техн. спец. вузов.-М.: Высшая школа, 2002. - 368 с.
3. Технические средства диагностирования: Справочник / Под общ. ред. В.В.Клюева. - М.: Машиностроение, 2005. - 672 с.
4. Приборы для неразрушающего контроля материалов и изделий. - Справочник. В 2-х кн./ Под ред. В.В.Клюева - М.: Машиностроение, 2006.
5. Ж.Госсорг. Инфракрасная термография. Основы, техника, применение: Пер. с франц. - М. Мир, 2005. - 416 с.
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
