Effect of substrate temperature on the properties of PECVD SiCN films - Статья

бесплатно 0
4.5 69
SiCN system like a new kind of semiconductor materials that connect the best properties of silicon carbide and nitride. Characteristics of the variation of the Knoop hardness, nanohardness and Young’s modules as functions of substrate temperature.

Скачать работу Скачать уникальную работу

Чтобы скачать работу, Вы должны пройти проверку:



Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность
своей работы


Новые загруженные работы

Дисциплины научных работ





Хотите, перезвоним вам?