SiCN system like a new kind of semiconductor materials that connect the best properties of silicon carbide and nitride. Characteristics of the variation of the Knoop hardness, nanohardness and Young’s modules as functions of substrate temperature.
При низкой оригинальности работы "Effect of substrate temperature on the properties of PECVD SiCN films", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%