Зависимость ионов от мощности в аномальном тлеющем разряде в магнитном поле. Влияние метода магнетронного распыления на модель строения неоднородных по структуре пленок оксидов металлов. Специфика потока плазмы смеси газов аномального тлеющего разряда.
При низкой оригинальности работы "Аномальный тлеющий разряд в процессах нанесения функциональных покрытий", Вы можете повысить уникальность этой работы до 80-100%
