Аналіз впливу теплових умов на структурну досконалість монокристалів кремнію і розробка теплового вузла для вирощування бездефектних зливків у промислових умовах - Автореферат

КРЕМЕНЧУЦЬКИЙ УНІВЕРСИТЕТ ЕКОНОМІКИ, ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ І УПРАВЛІННЯ УДК 669.162.238 661.68 Автореферат дисертації на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук Аналіз впливу теплових умов на структурну досконалість монокристалів кремнію і розробка теплового вузла для вирощування бездефектних зливків у промислових умовах Спеціальність 05.27.06 - Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки Вашерук Олександр Васильович Кременчук - 2006 Дисертація є рукописом. Робота виконана на кафедрі компютеризованих систем автоматики Кременчуцького університету економіки, інформаційних технологій і управління Науковий керівник - доктор технічних наук, професор Оксанич Анатолій Петрович, Кременчуцький університет економіки, інформаційних технологій і управління, завідувач кафедри компютеризованих систем автоматики. Автореферат розісланий “21” квітня 2006р. Вчений секретар спеціалізованої вченої ради С.Е. Притчин. Значна частина монокристалів кремнію для напівпровідникового виробництва вирощується методом Чохральського. Збільшення діаметру вирощуваних монокристалів кремнію при незмінному тепловому вузлі викликає порушення теплового балансу на границі поділу розплав - кристал в ростовій системі, що призводить до порушення структурної досконалості вирощуваного монокристалу. Розподіл теплового потоку в ростовій установці і вирощуваному монокристалі суттєво залежить від маси завантаженої шихти, форми і розмірів тигля, способу нагріву, системи екранування. Робота виконувалася автором на кафедрі комп’ютеризованих систем автоматики Кременчуцького університету економіки, інформаційних технологій і управління (КУЕІТУ) відповідно до міжвідомчої науково-технічної програми “Нанофізика і наноелектроніка”, науково-технічної програми “Електроніка - 2005” і повязана з реалізацією наступних науково-дослідних робіт: госпдоговірною НДОКР “Автоматизована система управління процесом вирощування монокристалів кремнію методом Чохральського АСУ “Кремінь”, госпдоговір 4/20 ВП від 30.08.2002 р., замовник - ДП “Завод чистих металів” ВАТ “Чисті метали”; госпдоговірною НДР “Розробка стійки управління процесом вирощування монокристалів кремнію по методу Чохральского”, госпдоговір 2/02 ВП від 12.12.2002 р., замовник - ДП “Завод чистих металів” ВАТ “Чисті метали”; НДР “Розробка способів і методів експрес-контролю структурної недосконалості в зливках монокристалічного кремнію і арсеніду галію”, державний реєстраційний номер 0106V000055; НДР “Дослідження впливу процесів тепломасопереносу на електрофізичні і структурні властивості монокристалічного кремнію і арсеніду галію в процесі їх вирощування”, державний реєстраційний номер 0106V000056. Дослідження механізму формування теплових умов в ростовій установці Редмет-30М при вирощуванні монокристалів кремнію діаметром 200 мм. 2. В роботах, виконаних у співавторстві, особисто Вашеруку О. В. належать наступні наукові результати: В роботі [2] - особисто автору належить аналіз впливу теплових умов на вирощування бездефектних зливків кремнію великого діаметру.