Тенденции к миниатюризации и переходу к нанометровым размерам в современной электронике. Физические основы зондовой нанотехнологии. Методы формирования нанорельефа. Совместное использование лазера и сканирующего электронного микроскопа в нанолитографии.
Аннотация к работе
1. Методы зондовой нанотехнологии 1.1 Физические основы зондовой нанотехнологии 1.2 Контактное формирование нанорельефа 1.3 Бесконтактное формирование нанорельефа 1.4 Локальная глубинная модификация поверхности 1.5 Межэлектродный массоперенос 1.6 Электрохимический массоперенос 1.7 Массоперенос из газовой среды 1.8 Локальное анодное окисление 1.9 СТМ-литография 1.10 Совместное использование лазера и СТМ в нанолитографии 2. Методы исследования химического состава поверхности 2.1 Масс-спектроскопия 2.2 Оже-электронная спектроскопия 2.3 Ионная масс-спектроскопия 2.4 Фотоэлектронная спектроскопия 2.5 Радиоспектроскопия 3. Исследования физической структуры поверхности 3.1 Рентгеноструктурный анализ 3.2 Анализ поверхности электронным пучком 3.3 Полевая эмиссионная микроскопия 3.4 Сканирующая туннельная микроскопия 3.5 Атомно-силовая микроскопия 3.6 Электронная микроскопия 3.7 Эллипсометрия 4. Нанотранзисторы 4.1 Теоретические и технологические проблемы скейлинга 4.2 КНИ-транзисторы 4.3 Транзисторы с двойным затворо