Вплив азоту та потужності розряду на оптичні властивості алмазоподібних вуглецевих плівок, отриманих методом плазмово-стимульованого осадження з газової фази. Вплив ультрафіолетового та гамма-опромінення на властивості кремнієвих сонячних елементів.
Аннотация к работе
АПВ плівки, а також структури на їх основі, інтенсивно досліджуються останніми роками, що обумовлено їх перспективністю для покращення характеристик існуючих і розробки нових приладів сучасної опто-та мікроелектроніки. Можливість керування властивостями таких плівок і шарів варіацією технологічних умов отримання та подальшою модифікацією їх структури суттєво розширює області їх практичного застосування. При створенні АПВ плівок методом плазмовостимульованого осадження з газової фази зазвичай використовують метан, ацетилен або інші вуглеводні. Зокрема, використання азоту дає можливість змінювати твердість, адгезійні властивості, оптичні константи n і k, оптичну ширину забороненої зони, фотолюмінесцентні властивості АПВ плівок, співвідношення sp2/sp3 фаз вуглецю та ін. Метою даної роботи було визначення механізму впливу азоту та потужності ВЧ розряду на оптичні властивості АПВ плівок, отриманих методом плазмовостимульованого осадження з газової фази; дослідження механізму змін властивостей АПВ плівок, легованих азотом, під дією ультрафіолетового та g-опромінення; дослідження просвітлюючих властивостей вуглецевих плівок, нанесених на поверхню фотоперетворювачів; визначення радіаційної стійкості кремнієвих сонячних елементів з нанесеними на них АПВ плівками при ультрафіолетовому та g-опроміненні, а також виявлення фізичних механізмів таких змін.Показано, що недостатньо вивченим залишається вплив ультрафіолетового та зовсім не вивченим вплив g - опромінення на властивості АПВ плівок, що містять азот, та кремнієвих сонячних елементів з просвітлюючими та захисними шарами на основі АПВ плівок. В розділі наведено опис методу плазмовостимульованого осадження АПВ плівок з газової фази, опис методу електронно-променевого розпилення графітової мішені в вакуумі для отримання вуглецевих наноструктурованих плівок, методику створення досліджуваних фотоперетворюючих систем з використанням покриттів на основі АПВ плівок, експериментальні методики дослідження оптичних і фотоелектричних властивостей плівок та зразків сонячних елементів (СЕ) та інфрачервоних датчиків. Модифікація досліджуваних зразків АПВ плівок та СЕ з та без просвітлюючих шарів АПВ плівок проводилась шляхом опромінення: - ультрафіолетовим світлом від лампи ДРШ-250 протягом 2 годин в режимі несфокусованого (густина потоку світла ~1 КВТ/м2) та сфокусованого (~350 КВТ/м2) випромінювання; Використання більшої потужності ВЧ розряду під час осадження плівок призводить до формування АПВ плівок з меншими значеннями оптичної ширини забороненої зони, що зумовлено розупорядковуючою дією іонів плазми з більшою енергією, які бомбардують плівку під час її осадження. Опромінення УФ світлом спричиняє зменшення кількості звязків водню з азотом, збільшення кількості sp3 гібридизованих атомів вуглецю та появу нових звязків атомів вуглецю та азоту між собою (зокрема, збільшення кількості звязків C-C, C-N) та атомами кисню. g-опроміненню дозою 106 рад піддавалися АПВ плівки, вирощені з газових сумішей, що містили 20, 30 або 45% азоту.