Описание установки и функциональные требования к вакуумным насосам. Номенклатура и характеристика средств откачки (вакуумных насосов). Определение длины и диаметра вакуумопроводов. Предварительный расчет без учета процессов газовыделения вакуумной камеры.
Для этого необходимо определить функциональные требования к технологическому оборудованию, выбрать номенклатуру и характеристики средств откачки (вакуумных насосов), определить длину и диаметр вакуумопроводов, разработать технологический процесс откачки, сформировать базу данных для расчета, провести предварительный расчет без учета процессов газовыделения вакуумной камеры, скорректировать полученные результаты с учетом газовой десорбции и газовыделения стенками вакуумной камеры.Система безмасляной вакуумной откачки включает: форвакуумный спиральный насос с предельным давлением не более 5 Па; криогенный насос с сорбционной емкостью 2000 литров по аргону при 10-6мм.рт.ст., вакуумный затвор, систему клапанов, систему вакуумных трубопроводов и сильфонов В состав системы охлаждения входят: система распределения воды и трубопроводы, датчики протока и термореле, клапаны для обеспечения дистанционного включения охлаждения, теплообменник с воздушным охлаждением. В состав системы газораспределения входят: регуляторы расхода газа, клапаны и трубопроводы для распределения потоков рабочих газов в вакуумной камере. Система позволяет нагревать обрабатываемые образцы до температуры от 100 до 400 0С и поддерживать необходимую температуру в процессе нанесения покрытий с точностью ± 5 0С. Вакуумные насосы Anest Iwata модели ISP-90 используются сегодня во многих областях: · системы напыления, · системы для нанесения оптических покрытий, · гелиевые течеискатели, · ионная обработка, · электронно-лучевые процессы, · вакуумные печи, · лабораторное оборудование, · ускорители.Из выявленных выше разделов можно формировать исходные данные. Скорость откачки механического насоса - 90 л/мин =1,5 л/с Длина трубопровода криогенный насос - камера по оси магистрали - 12 10 12=34 см. Трубопровод крионасоса - камера имеет угол 00.Положим, что за промежуток времени dt давление в откачиваемом объекте снижается на dp1 Тогда количество газа, поступающее в трубку за промежуток времени dt, равно S0 p1dt, а убыль газа в объекте за этот промежуток времени равна Vdp1. То При вычислении длительности откачки, достаточной для снижения давления в откачиваемом объекте до заданного значения, приходится пользоваться различными вариантами формулы (1) в зависимости от соотношения между быстротой действия насоса SH и пропускной способностью вакуумпровода U. В случае короткого вакуумпровода с большим диаметром слагаемым 1/U можно пренебречь и уравнение (1) написать в виде: В нашем уравнении среднее значение быстроты действия насоса, которое мы обозначим через SH, известно; требуется же определить промежуток времени (обозначим его через t), за который давление в откачиваемом объекте снизится с р1 до р2. Для расчета времени откачки вакуумной системы, содержащей двухкомпонентную смесь сухого воздуха и паров воды, запишем два уравнения изотермического процесса откачки: где р1 - давление воздуха без учета давления паров воды, Па; р2 - давление паров воды в воздухе, Па; а - количество паров воды, адсорбированное на единице геометрической поверхности камеры, м3, Па/м2; SK - геометрическая площадь поверхности камеры, м2; VK - объем камеры, м3. Согласно проведенным исследованиям, время откачки влажного и сухого воздуха при давлениях 105 - 100 Па практически совпадает, заметное влияние адсорбированных паров воды на время откачки вакуумных систем после напуска атмосферного воздуха проявляется при давлении ниже 10 Па, а при давлении меньше 10-3 Па время откачки двухкомпонентной смеси полностью определяется десорбционным газовыделением паров воды с внутренних стенок вакуумной камеры.Для этого необходимо определить функциональные требования к технологическому оборудованию, выбрать номенклатуру и характеристики средств откачки (вакуумных насосов), определить длину и диаметр вакуумопроводов, разработать технологический процесс откачки, сформировать базу данных для расчета, провести предварительный расчет без учета процессов газовыделения вакуумной камеры, скорректировать полученные результаты с учетом газовой десорбции и газовыделения стенками вакуумной камеры.
План
Содержание
Введение
1. Формирование исходных данных для расчета
1.1 Описание установки
1.2 Спиральный безмасляный насос ISP-90
1.3 Крионасос CVP 25
14 Разработка ваккумной системы
1.5 Исходные данные
2. Расчеты
Заключение
Список литературы
Вы можете ЗАГРУЗИТЬ и ПОВЫСИТЬ уникальность своей работы
