Одержання методом реактивного магнетронного розпилення плівок різних фаз оксиду. Дослідження будови та мікроструктури плівок Bi2O3 за допомогою рентгенофазового аналізу, оптичної та електроннооптичної мікроскопії і специфіка їх температурної стабільності.
Аннотация к работе
СИНТЕЗ І ДОСЛІДЖЕННЯ ФІЗИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ПЛІВОК СТАБІЛІЗОВАНОЇ ПРИ НИЗЬКИХ ТЕМПЕРАТУРАХ d-ФАЗИ Bi2O3 Автореферат дисертації на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наукПроведено експериментальні рентгенофазові, електроннооптичні й електронографічні дослідження, дослідження мікроструктури поверхні за допомогою оптичного мікроскопа, температурної стабільності розпаду метастабільних фаз плівок, діелектричних спектрів. Виведено аналітичний вираз, який дозволяє описати діелектричні спектри й визначити параметри, що характеризують електрофізичні процеси в плівках d-Bi2O3. Аналіз всіх отриманих результатів дозволяє припустити, що стабілізація високотемпературної d-фази Bi2O3 при низьких температурах стає можливою завдяки малому розміру кристалітів і наявності навколо них прошарку аморфної фази, а також, що в провідності беруть участь як електрони, так й іони кисню. Исследования микроструктуры поверхности пленок с помощью оптического микроскопа показали, что без специальной обработки поверхности пленок аморфной, b-и d-модификации являются гладкими, а пленки а-модификации состоят из поликристаллов в виде неправильных многоугольников, средний размер которых составляет ~5000 нм. По причине зависимости проводимости пленок s` от частоты, в качестве эквивалента диэлектрической проницаемости e использовали “универсальную” емкость Cn(w), которая является комплексной степенной функцией частоты, а для описания спектров пленок d-Bi2O3 использовали выражение, описывающее двухполюсник, состоящий из двух различных “универсальных” емкостей Cn(w), Cm(w) и одного активного сопротивления R.дослідження будови та мікроструктури плівок Bi2O3 за допомогою рентгенофазового аналізу, оптичної та електроннооптичної мікроскопії, визначення розміру блоків і зерен, що створюють отримані плівки, визначення постійної елементарної кристалічної ґратки для плівок d-Bi2O3 дослідження температурної стабільності плівок різних фазових станів; Проведено рентгенографічні, оптичні, електроннооптичні дослідження та дослідження частотної залежності повного комплексного імпедансу у широкому температурному інтервалі плівок d-фази Bi2O3. Досліджено температурну стабільність при розпаді плівок d-Bi2O3 та визначено, що метастабільна d-фаза розпадається в стабільну а-фазу через проміжну b-фазу, однак при такому розпаді b-фаза виявляється більш стійкою у вакуумі, у той час як d-фаза - на повітрі. Запропоновано механізми поляризації й електропровідності в плівках d-фази Bi2O3, які ураховують утворення обємного заряду на електродах. При охолодженні d-фази Bi2O3 з витримкою в атмосфері кисню при температурах 1073-1093 K відбувається її перетворення в g-фазу при температурі 908 K.