Дослідження та розробка електронних схем для ємнісних сенсорів теплового розширення твердих тіл. Вплив зовнішніх факторів на стабільність тонкоплівкових мідних сенсорів температури. Методика виготовлення плівкового мідного термоперетворювача опору.
Аннотация к работе
НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ «ЛЬВІВСЬКА ПОЛІТЕХНІКА»Робота виконана в Чернівецькому національному університеті імені Юрія Федьковича Міністерства освіти і науки України Науковий керівник доктор технічних наук, професор кафедри радіотехніки та інформаційної безпеки Чернівецького національного університету імені Юрія Федьковича Політанський Леонід Францевич. Офіційні опоненти доктор технічних наук, професор Голяка Роман Любомирович, Національний університет "Львівська політехніка"; Захист відбудеться “29 ”березня 2007 р. о 14 30 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради К Д.35.052.12 у Національному університеті “Львівська політехніка” (79013, Львів-13, вул. З дисертацією можна ознайомитись у науковій бібліотеці Національного університету “Львівська політехніка” (м.Сучасний стан розвитку науки і техніки визначається рівнем розвитку електронної техніки, зокрема розробкою схемотехнічних засобів сенсорів неелектричних величин. Розвиток твердотільної електроніки здійснюється в напрямку фундаментальних досліджень фізики твердого тіла, фізики напівпровідників та діелектриків, вивчення впливу різних факторів (температури, тиску, електромагнітного поля, оптичного випромінювання тощо) на властивості матеріалів електронної техніки. Розвиток засобів вимірювання фізичних величин неелектричного характеру (довжини, маси, часу, температури, сили світла та ін.) за останні роки все більше наближається до принципового та конструктивного виконання радіовимірювальних приладів: неелектрична величина за допомогою вимірювальних сенсорів перетворюється в електричну і в подальшому процес підсилення, перетворення і реєстрації вимірювальної інформації базується на принципах та методах електронних засобів вимірювання. Це дозволяє автоматизувати процес вимірів, уніфікувати та стандартизувати різні види засобів вимірювань, забезпечити метрологічну, конструктивну, інформаційну, енергетичну та експлуатаційну сумісність засобів вимірювань між собою і з обєктами вимірів. Застосовано такі методи досліджень, як визначення температурного коефіцієнту розширення твердих тіл за допомогою ємнісного дилатометра, використання явища пєзоефекту для калібрування параметричного ємнісного давача, вимірювання температури та швидкості потоків повітряних мас за допомогою тонкоплівкових сенсорів температуриУ вступі обґрунтовано актуальність теми дисертаційної роботи, сформульовані мета і задачі дослідження, визначено наукову новизну і практичне значення одержаних результатів, обґрунтовано достовірність отриманих експериментальних результатів, наведено інформацію про апробацію результатів досліджень, а також структуру дисертації і особистий внесок автора у роботи, які опубліковано разом зі співавторами. Забезпечення належної часової стабільності характеристик мідного термоперетворювача опору досягається нанесенням додаткового захисного шару титан-вольфраму між мідним терморезистивним шаром та ізолюючим шаром двоокису кремнію. Для зменшення впливу температури використовується термостатування ємнісного давача, сигнал знімається за допомогою коаксіальної лінії, введення охоронного кільця усуває краєві ефекти. Теплове розширення комірки визначається вимірюванням теплового розширення зразків з чистої міді та чистого алюмінію і порівнянням отриманих результатів з точними літературними даними для цього матеріалу.