Сущность влияния температуры нагрева тонкопленочного материала на электрическую проводимость сенсора. Анализ определения газочувствительных свойств по отношению к диоксиду в измерительной герметичной камере. Применение растровой электронной микроскопии.
Аннотация к работе
Разработка технологии получения высокочувствительных сенсоров газов на основе оксида циркония для гибридных сенсорных системОгромный интерес к гибридным сенсорным системам обусловлен большими возможностями их практического применения в различных областях для непрерывного контроля состава газообразной среды: для контроля дымовых газовв энергетике, в системах пожарной сигнализации, в вентиляционных системах зданий, для экологического мониторинга транспортных узлов и др. Кроме того, гибридные сенсорные системы могут быть использованы в качествесистем контроля состояния здоровья человека, а именно для детектирования бронхиальной астмы. Устройства контроля уровня окиси азота в дыхательных путях страдающих астмой позволит пациентам самостоятельно анализировать свое дыхание и при необходимости принимать минимальное количество профилактических медикаментов. В данной работе представлена технология получения высокочувствительных газовых сенсоров на основе оксида циркония с использованием золь-гель метода [3]. Исходный раствор получали путем смешения цирконийсодержащего водного раствора и спиртового раствора тетраэтоксисилана (ТЭОС) так, что соотношение Zr/Si по массе в исходных растворах составило 0,1; 0,2;0,4 и 0,6.