Анализ существующих классификаций устройств на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС). Предложение нового графа декомпозиции устройств на основе МЭМС для решения задач автоматизации. Разработка параметрической модели для подгруппы акселерометров.
Аннотация к работе
РАЗРАБОТКА ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ АКСЕЛЕРОМЕТРА НА ОСНОВЕ МИКРОЭЛЕКТРОЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ Д.т.н. В статье проведен анализ существующих классификаций устройств на основе МЭМС. Предложен новый граф декомпозиции устройств на основе МЭМС для решения задач автоматизации. Разработана параметрическая модель для подгруппы акселерометров. У статті проведено аналіз існуючих класифікацій пристроїв на основі МЕМС.Однако устройства на основе МЭМС возможно разбить и по другим критериям: по сфере применения, количеству используемых элементов, размерам конструкций, используемых физических явлений, а так же по технологии изготовления [3]. Если устройства на основе МЭМС понимать как обеспечение конвертирования величины различной физической природы, то функции МЭМС можно разбить следующим образом[4]: актюаторы и/или сенсоры, системы излучения (антенны), цепи, используемые для обработки информации от сенсоров, актюаторов, цепи управления. Если разделять устройства на основе МЭМС с точки зрения функциональных модулей они делятся на: исполнительные механизмы (актюаторы), чувствительные элементы (сенсоров), управляющие механизмы (микрозеркала, микроклапаны, управляемые микроклапаны, мембраны и т. д.), устройства передачи энергии (для передачи энергии), устройства управления (электрические и механические). Для разработки параметрической модели необходимо разбить устройства на основе МЭМС более детально в соответствии с поставленной задачей: - простые устройства; На рисунке 1 представлен фрагмент графа декомпозиции устройств на основе МЭМС устройств.В ходе проведенных исследований предложен граф декомпозиции устройств на основе МЭМС с точки зрения автоматизации проектирования.