Анализ определения энергии электрически заряженных неэлементарных частиц и основной дозы облучения, необходимых для создания p-n-перехода. Расчет среднего полного пробега ионов бора в кремнии. Особенность зависимости от мощности в главном диапазоне.
Аннотация к работе
Обратная технологическая задача вар. Цель работы: определить энергию ионов и дозу облучения, необходимые для создания p-n-перехода.