Тензорезисторы как преобразователи, осуществляющие преобразование механических деформаций в изменение электрического сопротивления. Использование тензорезисторов для измерения сил, давлений, вращающих моментов. Характеристика тензоэффекта материала.
Аннотация к работе
Обеспечение высокого и стабильного качества промышленной продукции является в настоящее время одной из основных проблем, на решение которой направлены усилия коллективов ученых, конструкторов и технологов.Тензорезисторами называют преобразователи, осуществляющие преобразование механических деформаций в изменение электрического сопротивления, т.е. преобразователи, основанные на тензоэффекте. Основными материалами для изготовления полупроводниковых тензорезисторов в настоящее время являются константан, нихром, никель, висмут кремний и германий, причем кремний вследствие его меньшей чувствительности к температуре получил большее распространение. К монокристаллическим тензорезисторам относятся тензорезисторы, полученные вырезанием из монокристалла; игольчатые кристаллы, полученные выращиванием из газовой фазы; эпитаксиальные пленки и дендриты. Материалы для полупроводниковых тензорезисторов должны обладать возможно большим коэффициентом тензочувствительности (КТЧ) и наименьшим температурным коэффициентом сопротивления (ТКС), а также обеспечивать стабильность параметров тензорезисторов. Весьма ответственной операцией при изготовлении полупроводниковых тензорезисторов является создание контакта металл-полупроводник, который получается различными способами: пайкой, вплавлением, сваркой, напылением, электрохимическим или химическим нанесением покрытий.Конструктивно тензорезисторы выполняют из проволоки, фольги или прямоугольников полупроводникового материала (рис. Тензорезисторы могут использоваться в составе интеллектуальных тензодатчиков ZET 7010 Tensometer-485 (статические измерения), ZET 7110 Tensometer-CAN (статические измерения) и ZET 7111 Tensometer-CAN (динамические измерения).Тензорезистор используются главным образом в качестве чувствительного элемента измерительных преобразователей (тензодатчиков), применяемых для измерения механических напряжений, деформаций твердых тел, а также в преобразователях давления или механического напряжения в электрический сигнал, направленный в микрофонах и звукоснимателях.