Сущность и задачи литографии. Описание процесса создания рисунка с использованием фотолитографии на кремниевой подложке. Исследование режимов технологического процесса ионного легирования в кремниевой технологии при помощи компьютерных программ.
Аннотация к работе
Глава 1. Анализ основных вопросов фотолитографии 1.1 Характеристики процесса фотолитографии и технические проблемы развития Глава 2. Применение компьютерных технологий в научном исследовании Заключение Список использованных источников ВВЕДЕНИЕ фотолитография кремниевый ионный легирование Литография - процесс формирования на технологическом (функциональном) слое резистовой маски соответствующей топологии данного слоя с определенным уровнем прецизионности размеров элементов и совмещения с другими функциональными слоями. За этот короткий промежуток времени технологии, материалы и оборудование для литографии, а с ними и микроэлектроника, развивались колоссальными темпами.