Сканирующие зондовые методы исследования и атомного дизайна. Основные методы и приборы для исследования размеров зерен и их распределения в нанокристаллическом образце. Гранулометрия и классификация наночастиц. Ближнепольная оптическая микроскопия.
Аннотация к работе
Просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения: - электронная микроскопия атомного разрешения; - электронная голография; - электронные микроскопы с коррекцией сферической абберации; - электронная микроскопия с фильтрацией энергии для химического анализа; - отражательная электронная микроскопия медленных электронов. 2. Сканирующая электронная микроскопия : - энергетический анализ рассеянных электронов и рентгеновских лучей; - катодолюминесценция; - метод наведенного тока; - электронная томография и др. 3. Сканирующая туннельная и атомно-силовая микроскопия : - проведение спектроскопического анализа; - измерение молекулярных сил; - проведение экспериментов при пониженных и повышенных температурах; - манипулирование отдельными атомами. 4. С момента изобретения Г. Биннингом и Г. Рорером первого варианта сканирующего туннельного зондового микроскопа в 1982 году прошло всего 20 лет, но за это время из остроумной игрушки он превратился в одно из мощнейших средств нанотехнологии. Как видно из названия (SPM) общим у этих методов является наличие зонда (чаше всего это хорошо заостренная игла с радиусом при вершине, равным 10 нм) и сканирующего механизма, способного перемещать его над поверхностью образца в трех измерениях (рис. Типичный диапазон перемещений по координатам X и Y составляет десятки, иногда сотни мм, по Z - 10-20 мм. а точность позиционирования ~ 0,1-1 мкм. Принцип действия сканирующего туннельного зондового микроскопа (STM) (а) и типичная зависимость туннельного спектра для кремниевого диода При Т=4,2К (б): 1- зонд; 2- образец; It - туннельный ток в зазоре ?; ЕF - уровень Ферми; U - напряжение, приложенное к зазору (0,01-10 В); W - энергия; е - заряд электрона; Z - ось, перпендикулярная к поверхности образца Будучи прямым потомком ионного проектора, созданного Мюллером в 30-е годы XX века STM также быстро достигла атомного разрешения. Ультратонкие монокристаллические кремниевые кантилеверы, изготовленные в IBM (толщиной всего в 60 нм!), способны детектировать силы величиной в несколько аттоньютонов (1018 Н).