Методы формирования тонкоплёночных структур - Учебное пособие

бесплатно 0
4.5 83
Основы термического вакуумного распыления. Особенности формирования тонких плёнок термовакуумным, ионным, молекулярно-лучевой эпитаксией, химическими и электрохимическими методами. Химические основы процесса получения эпитаксиальных плёнок кремния.


Заказать написание новой работы



Дисциплины научных работ



Хотите, перезвоним вам?