Методи та апаратура контролю структурно-геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів та структур в умовах їх серійного виробництва - Автореферат
Розробка науково-обґрунтованих методів контролю деформацій, механічних напруг, структурної досконалості і створення на їх основі вимірювального та ростового устаткування та апаратури для контролю структурної досконалості напівпровідникових кристалів.