Розробка методів отримання та оперативної фотограмметричної обробки РЕМ-зображень для різних випадків РЕМ-знімання. Розгляд методики виготовлення голографічних тест-сіток з високою роздільною здатністю. Визначення оптимальних параметрів РЕМ-знімання.