Процес нанесення тонких плівок в вакуумі. Метод термічного випаровування. Процес одержання плівок. Способи нанесення тонких плівок. Використання методу іонного розпилення. Будова та принцип роботи ВУП-5М. Основні види випарників та їх застосування.
Аннотация к работе
МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ СУМСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ УНІВЕРСИТЕТ Факультет електроніки та інформаційних технологій Кафедра прикладної фізики З В І Т з виробничої практики методи одержання тонкоплівкових матеріалів Керівник практики Степаненко А.О. Студент-практикант, групи ЕП- 01 Демиденко О.О. Суми 2013 ЗМІСТ ВСТУП РОЗДІЛ 1 МЕТОДИ НАНЕСЕННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК В ВАКУУМІ 1.1 Процес нанесення тонких плівок 1.2 Метод термічного випаровування 1.3 Метод іонного розпилення РОЗДІЛ 2 ОБЛАДНАННЯ ДЛЯ НАНЕСЕННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК 2.1 Будова та принцип роботи ВУП-5М 2.2 Види випарників та їх застосування 2.3 Експериментальні результати ВИСНОВКИ СПИСОК ВИКОРИСТАНОЇ ЛІТЕРАТУРИ ВСТУП Вакуумна техніка широко застосовується як у багатьох галузях промисловості так і при наукових дослідженнях. В останні десятиліття значний інтерес викликають дослідження фізичних процесів, що відбуваються у зразках малих розмірів, а саме тонких металевих плівках. Це обумовлено тим, що з розвитком науково-технічного прогресу з’явилась можливість отримува