Кристаллическая структура и полупроводниковые свойства карбида кремния и нитрида алюминия. Люминесцентные свойства SiC и твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x. Технологическая установка для выращивания растворов. Электронный микроскоп-микроанализатор ЭММА-2.
Аннотация к работе
Успешное развитие твёрдотельной электроники определяется уровнем создания новых материалов, удовлетворяющих комплексу требований. Анализ современной зарубежной и отечественной патентной и периодической литературы показывает, что наиболее полно удовлетворяют требованиям твердотельной электроники такие классы тугоплавких соединений как бориды, карбиды, нитриды и силициды. Это объясняется, прежде всего, тем, что указанные соединения помимо необходимого комплекса свойств обладают повышенной устойчивостью к воздействию градиента температур, электрического потенциала, механических напряжений, агрессивных сред. Определённую перспективу в этом плане имеют твёрдые растворы на основе карбида кремния. Это связано с тем, что твёрдые растворы на основе карбида кремния наследуют его уникальные свойства, в том числе и обусловленные существованием более 140 политипов. Специфика термомеханических, электрофизических, физико-химических свойств карбида кремния предопределила разнообразие областей применения материалов на основе