Особенности работы источника ионов. Распределение электростатических полей, состав ионов газа, металла. Экспериментальные данные по определению состава ионного пучка. Внедрение элементов в поверхностный слой обрабатываемого материала (ионная имплантация).
Аннотация к работе
ИСТОЧНИК ИОНОВ ДЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ УСТАНОВОК В.Н. Злобин, И.П. Васильев, В.В. Лукин Изложены особенности работы источника ионов. Рассмотрено распределение электростатических полей и состав ионов газа и металла в источнике ионов. Приведены экспериментальные данные по определению состава ионного пучка. Одним из наиболее перспективных способов модификации поверхности является ионная имплантация [1,2]. Данный способ представляет собой внедрение элементов в поверхностный слой обрабатываемого материала. В вакууме ионы различных элементов ускоряются электрическим полем до высоких энергий и направляются на обрабатываемую деталь. Внедряясь в поверхность, ионы тормозятся серией столкновений с атомами вещества. Глубина проникновения в поверхность зависит от энергии ускоренных ионов и имеет сложную зависимость. С помощью этого способа производят поверхностное легирование различных деталей. При этом износостойкость, например, режущего инструмента повышается от 2 до 10 раз. В настоящее время этот процесс разрабатывается дл