Диэлектрическая проницаемость металл-диэлектрической среды. Концентрационные зависимости удельного электрического сопротивления. Методы получения композитных пленок, их структура и состав. Методика и техника измерений диэлектрической проницаемости.
Аннотация к работе
Дальнейший [1] прогресс в микроэлектронике, связанный с развитием тонкопленочных технологий, требует расширения исследований характеристик тонких плёнок с различной структурой, в том числе и магнитных, электрических свойств в различных диапазонах частот. Исследование же диэлектрических частотных свойств (диэлектрических спектров) тонких композитных плёнок, проводилось лишь в отдельных работах. Тем не менее, именно в этой области лежит интерес применения композитных пленок в разнообразных устройствах обработки информации и ВЧ сигналов [1]. Они представляют собой гранулированные аморфные нанокластеры сплава металлов хаотично распределенные в диэлектрической матрице или наоборот. Данная работа посвящена исследованиям высокочастотных зависимостей тангенса угла потерь и диэлектрической проницаемости в зависимости от относительной концентрации металлической и диэлектрической фаз композитных плёнок составов (CoaFeb Zrc)x (Zr2O3) [1-x]/5 , (CoaFeb Zrc)x (Zr2O) [1-x]/5. 1. Гранулированных композитов от концентрации металлической фазы X: 1 - в исходном состоянии, 2 - после отжига при Т = 400 о С в течение 30 мин Замена диэлектрической матрицы Zr2O на Zr2O3 сопровождается общим снижением удельного электрического сопротивления композитов во всем диапазоне концентраций и смещением порога перколяции в сторону меньших концентраций металлической фазы.