Исследование морфологии наночастиц SiO2 в полирующих суспензиях методами АСМ (атомно-силовой микроскопии) и СЭМ (сканирующей электронной микроскопии) - Статья
Методика получения морфологии наночастиц в концентрированых водных суспензиях на основе пирогенного диоксида кремния, а также силикатного золя, полученного ионообменной технологией. Механизм химико-механической полировка полупроводниковых материалов.